【招标】北京大学电子学院激光直写设备招标采购项目公开招标

集微网消息，5月18日，北京大学电子学院激光直写设备招标采购项目公开招标。北京大学电子学院拟采购1套激光直写设备，预算金额为422万元，该项目允许采购进口产品。

该设备应用于亚微米尺度的图形化工艺及掩模版制备工艺，应可应用于在各种衬底上进行激光直接光刻工艺，应具备激光直写光刻所要求的各项条件。

此外，北京大学近期发布多项设备招标信息，包括等离子体增强原子层沉积设备采购项目、晶圆湿法处理系统招标采购项目等。（校对/若冰）